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双扉式蒸着重合装置

MDP2015

● 半導体装置で培った技術を集約した最新鋭装置

● φ540×H1500(mm)のワーク設置範囲を実現

● 1扉にワーク取付け用軸を2軸設置

● 2扉方式によるハイタクトを達成

● ワーク投入後、専用ソフトによるオートランニング機能

● 装置最適化により排気系統、制御盤を含めてW2300×D4900(mm)の小フットプリントを実現

 

装置仕様

● 装置寸法(mm)   W2,300×D4,900×H2,500

   ※両扉を全開にした場合、W5,700となります。

● 装置重量      約 7,000kg

● 収納容積(mm)         φ540×H1,500×2軸 (片扉)

● 標準サイクルタイム 300sec/回

   ※標準的なサイクル時間であり、保証値ではありません。

装置動画

株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL 042-700-0310
FAX 042-700-0314


1. 半導体・LED向け装置設計組立
2. 自動車等樹脂製品向け蒸着重合
  装置/スパッタ重合装置製造販売
3. 各種洗浄装置設計製造販売
4. 精密機械部品加工



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