株式会社メープル 〒252-0212 神奈川県相模原市中央区宮下 三丁目3番1号 TEL.042-700-0310 FAX.042-700-0314 ───────────────── 1.半導体・LED向け装置設計組立 2.自動車等樹脂製品向け蒸着重合 装置/スパッタ重合装置製造販売 3.各種洗浄装置設計製造販売 4.精密機械部品加工 ─────────────────
● 半導体装置で培った技術を集約した最新鋭装置
● φ540×H1500のワーク設置範囲を実現
● 1扉にワーク取付け用軸を2軸設置
● 2扉方式によるハイタクトを達成
● ワーク投入後、専用ソフトによるオートランニング機能
● 装置最適化により排気系統、制御盤を含めてW2300×D4900の小フットプリントを実現