株式会社メープル 〒252-0212 神奈川県相模原市中央区宮下 三丁目3番1号 TEL.042-700-0310 FAX.042-700-0314 ───────────────── 1.半導体・LED向け装置設計組立 2.自動車等樹脂製品向け蒸着重合 装置/スパッタ重合装置製造販売 3.各種洗浄装置設計製造販売 4.精密機械部品加工 ─────────────────
● GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
● 洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等
● ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能
● 効果で時間のかかるウェット洗浄や大量の予備品が不要
● 温装置導入でサイクルコストの削減に貢献可能
● 作業者に負担のかからない安全設計