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株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL.042-700-0310
FAX.042-700-0314
─────────────────
1.半導体・LED向け装置設計組立
2.自動車等樹脂製品向け蒸着重合
 装置/スパッタ重合装置製造販売
3.各種洗浄装置設計製造販売
4.精密機械部品加工
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ISO9001認証ロゴ
038022
 

ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置
   

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置


 
   

●ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
●洗浄可能な治具は、ＳｉＣコートカーボン、石英等
●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能
●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要
●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能
●作業者に負担のかからない安全設計

 

 
 

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当社では、生産設備へのスケールアップ等の
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