神奈川県相模原市の株式会社メープルでは各種装置の販売及び設計組立などを行っています。
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株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL.042-700-0310
FAX.042-700-0314
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1.半導体・LED向け装置設計組立
2.自動車等樹脂製品向け蒸着重合
装置/スパッタ重合装置製造販売
3.各種洗浄装置設計製造販売
4.精密機械部品加工
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066417
GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置
MDC6550
MDC6550
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● GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
● 洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等
● ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能
● 効果で時間のかかるウェット洗浄や大量の予備品が不要
● 温装置導入でサイクルコストの削減に貢献可能
● 作業者に負担のかからない安全設計
装置仕様
MDC8540L MDC6550
● 装置寸法(mm) W2,100×D4,160×H2,700 W1,510×D2,440×H2,950
● 装置重量 約 4,500kg 約 2,800g
● 洗浄可能寸法(最大) φ850mm φ650mm
● 洗浄方法(両モデル共通) 洗浄ガスとの加熱反応方式
