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株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL.042-700-0310
FAX.042-700-0314

─────────────────
1.半導体・LED向け装置設計組立
2.自動車等樹脂製品向け蒸着重合
 装置/スパッタ重合装置製造販売
3.各種洗浄装置設計製造販売
4.精密機械部品加工
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051319
 

マルチ真空装置

 
 
マルチ真空プロセス装置
 マルチ真空プロセス装置
センターチャンバーの周辺にロードロック室を含めて
全6室を搭載可能なクラスター型複合プロセス装置を開発
 
【特徴】
○センターチャンバーと各室間にゲートバルブを配置しコンタミを防止
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○メインポンプ(ターボ分子ポンプ)をチャンバー上部に取り付け高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備(但し、センターチャンバーとロードロック室は共用)
○±3%の膜厚分布のスパッタ成膜ユニットを搭載
○最高1000℃まで昇温可能なランプアニールユニットを搭載
○∮300Siウェハーを13枚搭載可能なカセットロードロック室を装備
 

マルチ真空プロセス装置カタログダウンロード

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真空プロセス総合カタログ
 
ランプアニールユニット
 
スパッタ成膜ユニット
 
真空搬送ユニット
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